行业动态

金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“机队阻抗调节性能优化”的专利，公开号CN120202524A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本文公开的实施方式包括现场调整多个RF阻抗匹配的校准因子以控制多个等离子体腔室的方法。在实施方式中，所述方法包含自多个RF阻抗匹配的操作收集数据并将其存储于内存中，以及针对多个RF阻抗匹配中的每一者自所收集的数据寻找调节空间。在实施方式中，所述方法进一步包含寻找考虑到多个RF阻抗匹配中的每一者的可变性的调整，考虑到时变及工艺相关负载阻抗而寻找对多个RF阻抗匹配的可变调节元件的调整，并且所述方法进一步包含针对多个RF阻抗匹配中的可变调节元件获得操作窗口。

本文源自金融界